催化净化是典型的气固相催化反应，其实质是活性氧参与的深度氧化作用。在催化净化过程中，催化剂的作用是降低活化能，同时催化剂表面具有吸附作用，使反应物分子富集于表面提高了反应速率，加快了反应的进行；借助催化剂可使有机废气在较低的起燃温度条件下，发生无焰燃烧，并氧化分解为CO2和H2O，同时放出大量热能，从而达到去除废气中的有害物的方法。

在将废气进行催化净化的过程中，废气经管道由风机送入热交换器，将废气加热到催化燃烧所需要的起始温度。经过预热的废气，通过催化剂层使之燃烧。由于催化剂的作用，催化燃烧法废气燃烧的起始温度约为250～300摄氏度，大大低于直接燃烧法的燃烧温度650～800摄氏度，高温气体再次进入热交换器，经换热冷却，以较低的温度经风机排入大气。
    催化燃烧设备的处理效果理想，和它的处理工艺有关，而放热量，燃烧的温度，热量等要素会影响它的工艺，进而对设备的处理效果产生影响，为了让设备将废气处理更洁净，注意操控好它的放热，将热量尽可能大面积收回。

催化燃烧设备的吸附法能耗低、工艺成熟、去除率高、净化彻底、易于推广的优点，有很好的环境和经济效益。用途：吸附法主要用于低浓度，高通量可挥法性有机物(VOCs)的处理。吸附剂：决定催化燃烧设备吸附法处理VOCs的关键是吸附剂，吸附剂应具有密集的细孔结构、内表面积大、吸附性能好、化学性质安稳、不易破碎、对空气阻力小等性能，常用的有活性炭、氧化铝、硅胶、人工沸石等。